بخش 6.2.page-24.2

میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مکرراً مورد استفاده قرار می‌گیرد و با تفکیک‌پذیری کمتر از۱ nm یا تفکیک‌پذیری بهتر، از دستگاه‌های نشرمیدانی برای اکثر مقاصد مرتبط با آزمون‌های نانوتریبولوژی دارای تفکیک پذیری کافی است (به شکل۳ مراجعه شود). تصاویر SEM را هم چنین می‌توان با طیف سنجی پرتو X با پراکندگی انرژی (EDS)¹ مشاهده کرد که می‌تواند تجزیه و تحلیل شیمیایی عنصری با تفکیک پذیری تا حدود۰/۲ μm و یا با روش پراش الکترون برگشتی (EBSD)² ترکیب نمود که می‌تواند تجزیه و تحلیل پراش را ارائه دهد (اطلاعاتی در مورد ساختار بلوری و تغییر شکل).