بخش 6.1.2.page-21

X / mm: -0.3, -0.2, -0.1, 0.0, 0.1, 0.2, 0.3
Y: -0.2, -0.1, 0.0, 0.1, 0.2

الف– حلقه اصطکاک

راهنما:
x– جابجایی
y– ضریب اصطکاک

X / cm: 0.21, 0.13, 0.05, -0.03, -0.11, -0.19, -0.27
Y: 1, 4, 7, 10
Z: -0.5, 0, 0.5, 1

ب– نمودار آبشاری

راهنما:
x– جابجایی
y– تعداد عبورها
z– ضریب اصطکاک

Analysis | Contact Stiffness | averages
percentage of wear track to analyse: 33.333 %
actual path length: 600 μm
current cycle: 20
elapsed time (s): 77
0.202 average friction coefficient
friction coefficient: -0.40, -0.30, -0.20, -0.10, 0.00, 0.10, 0.20, 0.30, 0.40
stage position(μm): 0, 50, 100, 150, 200, 250, 300, 350, 400, 450, 500, 550, 600
[ناخوانا] vs. N | [ناخوانا] vs. N | [ناخوانا] vs. N | cycles
friction coefficient: 0.19, 0.20, 0.21, 0.22
cycle number: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20

پ– محاسبه مقدار میانگین اصطکاک حاصل از۵۰٪ مرکزی منحنی اصطکاک و نمودار روند نتایج

شکل۱– نتایج اندازه‌گیری اصطکاک از آزمون‌های میکروتریبولوژی انجام شده برروی یک ویفر سیلیکونی الگودار