بخش 6
مراحل انجام آزمون
انواع مختلف آزمون
کلیات
صفحه 20
بند 1، صفحه 20
دو نوع آزمون اصلی وجود دارد که میتوان انجام داد. نوع اول اندازهگیری اصطکاک است که در آن هدف اصلی اندازهگیری دقیق اصطکاک میان پروب و نمونه است. نوع دوم آزمون اندازهگیری مقدار از دست رفتن مواد از سطح نمونه بهوسیله فرآیندهای سایش است.
بند 2، صفحه 20
البته آزمونهای ترکیبی را میتوان برای انجام هر دو اندازهگیری اصطکاک و از دست رفتن مواد بهصورت همزمان انجام داد.
آزمونهای اندازهگیری اصطکاک
صفحه 20
بند 1، صفحه 20
در این گونه آزمونها هدف اولیه اندازهگیری اصطکاک است. سامانههای آزمونی که به صورت متداول توانایی اندازهگیری اصطکاک را دارا هستند، سنجشهای اصطکاک را به صورت دیجیتالی ثبت میکنند. در این گونه آزمونها ضروری است که خود نیروی اصطکاک ثبت شود زیرا لزوماً از قانون آمونتون تبعیت نمیکند، بهویژه زمانی که اندازه مقیاس محل تماس کاهش مییابد.
بند 2، صفحه 20
اگر در طول آزمون، نوساناتی در بار اعمال شده رخ دهد، ضروری است که اندازه بار اعمال شده نیز ثبت شود. اگر ضریب اصطکاک موردنیاز باشد، محاسبه ضریب اصطکاک از طریق تقسیم کردن اندازههای آنی نیروی اصطکاک و بار اعمال شده مفید است. با این وجود اگر این روش انجام شود، باید اطمینان حاصل کرد که دادههای اندازه هر دو متغیر بطور هم زمان اندازهگیری میشوند، در غیر اینصورت، خطاهای بزرگی میتواند در محاسبه ضریب اصطکاک رخ دهد. نتایج اصطکاک میتواند به چندین روش ارائه شود. در مورد آزمونهای رفت و برگشتی، رسم نمودار اصطکاک بر حسب جابجایی در مسیر تماس، با رسم یک نمودار حلقهای اصطکاک، میتواند بسیار سودمند باشد (به شکل الف مراجعه شود). اگر اندازهگیری تغییرات زمانی حلقه اصطکاک نیز مورد نیاز باشد، در این صورت نمودار آبشاری روش مناسبی برای ارائه این اطلاعات است(به شکل ب مراجعه شود). نمودار نشانگر رفتار تغییرات میانگین اصطکاک بر حسب زمان یا بر حسب تعداد حلقهها نیز مفید است. باید در مورد محاسبه اصطکاک میانگین دقت کرد. چندین روش متفاوت را در این مورد میتوان بهکار برد. یک روش متداول این است که حوزهای از چرخه اصطکاک مشخص کرد، یا یک مجموعه معین از مکانهای جابجایی یا بطور مثال حوزه۵۰٪ مرکزی چرخه و سپس مقدار میانگین اصطکاک را در این حوزه برای هر حلقه محاسبه نمود. روش دیگر این است که مقدار میانگین اصطکاک برای یک حلقه را از محاسبه انتگرال مساحت حلقه بدست آورد (به شکل پ مراجعه شود).
صفحه 21
بند 1، صفحه 21

بند 2، صفحه 21
X / mm: -0.3, -0.2, -0.1, 0.0, 0.1, 0.2, 0.3
Y: -0.2, -0.1, 0.0, 0.1, 0.2
بند 3، صفحه 21
الف– حلقه اصطکاک
بند 4، صفحه 21
راهنما:
x– جابجایی
y– ضریب اصطکاک
بند 5، صفحه 21

بند 6، صفحه 21
X / cm: 0.21, 0.13, 0.05, -0.03, -0.11, -0.19, -0.27
Y: 1, 4, 7, 10
Z: -0.5, 0, 0.5, 1
بند 7، صفحه 21
ب– نمودار آبشاری
بند 8، صفحه 21
راهنما:
x– جابجایی
y– تعداد عبورها
z– ضریب اصطکاک
بند 9، صفحه 21

بند 10، صفحه 21
Analysis | Contact Stiffness | averages
percentage of wear track to analyse: 33.333 %
actual path length: 600 μm
current cycle: 20
elapsed time (s): 77
0.202 average friction coefficient
friction coefficient: -0.40, -0.30, -0.20, -0.10, 0.00, 0.10, 0.20, 0.30, 0.40
stage position(μm): 0, 50, 100, 150, 200, 250, 300, 350, 400, 450, 500, 550, 600
[ناخوانا] vs. N | [ناخوانا] vs. N | [ناخوانا] vs. N | cycles
friction coefficient: 0.19, 0.20, 0.21, 0.22
cycle number: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20
بند 11، صفحه 21
پ– محاسبه مقدار میانگین اصطکاک حاصل از۵۰٪ مرکزی منحنی اصطکاک و نمودار روند نتایج
بند 12، صفحه 21
شکل۱– نتایج اندازهگیری اصطکاک از آزمونهای میکروتریبولوژی انجام شده برروی یک ویفر سیلیکونی الگودار
آزمونهای سایش
صفحه 22
بند 1، صفحه 22
در آزمونهای سایش، از دست رفتن مواد از سطح در زمان حرکت مکرر پروب برروی سطح اندازهگیری میشود. این کار را میتوان یا از طریق آزمونهای زمان واقعی انجام داد که در آن حرکت نقطهای ثابت از پروب به سمت نمونه در طول آزمون پایش میشود، یا از طریق اندازهگیری آسیب ایجاد شده پس از اتمام آزمون آن را انجام داد. باید توجه داشت که پروب هم ممکن است بهعلت وجود لایههای فصل مشترک در طول آزمون سایش از نمونه جدا شود.
بند 2، صفحه 22
پایش موقعیت نسبی پروب نسبت به سطح میتواند انجام شود که در عین حال اطلاعات مفید را ارائه میدهد، اما باید این نکته مشخص شود که این روش فقط معیاری برای آسیب به هر دو مواد در سطح تماس را ارائه میکند، که همان نمونه و پروب میباشند. در برخی از مواد، استفاده از پروب به منظور اندازهگیری نیمرخ سطح اولیه نمونه امکان پذیر است و این کار از طریق انجام یک روش اولیه از سطح و تحت نیروی کم میباشد که به منظور ایجاد خسارت کمتر و یا عدم خسارت به سطح، قبل از شروع آزمون انجام میشود. این نیمرخ عرضی آغازین را میتوان بهعنوان مرجع اولیه مورد استفاده قرار داد که میتواند در اندازهگیریهای بعدی از مکان پروب کاسته شود.
بند 3، صفحه 22
اندازهگیریهای آسیب به نمونه را میتوان به چند روش انجام داد. تعیین نیمرخ عرضی با استفاده از AFM روش مناسبی برای اندازهگیری آسیب است. این روش غالباً از طریق اندازهگیری نیمرخ عرضی سایش در راستای عمود بر مسیر حرکت انجام میشود. این روش میتواند از طریق اندازهگیری تعدادی از نقاط در طول مسیر انجام شود (حداقل۳ نقطه توصیه میشود). پارامترهایی از قبیل عمق آسیب، پهنای مسیر سایش و مساحت سطح مقطع هر آسیب مهم است. بهتر است ناحیهای از سطح روبش شود و سپس مساحت سطح مقطع میانگین ناحیه را از طریق دادههای مساحت محاسبه کرد (به شکل۲ مراجعه شود). این روش بهویژه برای خراشیدگیهایی مفید است که در آنها ریخت شناسی¹ خراشیدگی در طول خراش متغیر است.
بند 4، صفحه 22
میکروسکوپی نوری هم کانون نیز میتواند مورد استفاده قرار بگیرد. این روش تفکیک پذیری عمق مناسبی دارد (۱۰ nm یاکمتر)، اما باید اطمینان حاصل کرد که این روش، توان تفکیکپذیری جانبی کافی برای ارزیابی آسیب سایش را بطور مؤثر دارد. تفکیک پذیری جانبی بهوسیله طول موج نور محدود میشود.
بند 5، صفحه 22
روش دیگر برای سنجش آسیب استفاده از عکسبرداری به روش استریو SEM است. در این روش دو عکس یا بیشتر با زاویههای متفاوت گرفته میشود و یک نرم افزار برای محاسبه تصویر سه بعدی آسیب، مورد استفاده قرار میگیرد. باید به این نکته توجه داشت که غالباً در کنارههای مسیرهای سایش برجستگی وجود دارد و ارائه تعریف معین از این لبهها نیازمند دقت است.
بند 6، صفحه 22
1-Morphology
صفحه 23
بند 1، صفحه 23
از آن جایی که عمقها و حجمهای سایش با توجه به یک صفحه مرجع مورد اندازهگیری قرار میگیرند، این نکته مهم است که مجموعه دادههای اندازهگیری شده به اندازه کافی بزرگ باشند و به خوبی تا اطراف ناحیه آسیب دیده توسعه یابند تا بتوان صفحه مرجع را به صورت دقیق مشخص نمود.
بند 2، صفحه 23
اگر ماده مورد آزمون یک پلیمر یا یک ماده با رفتار معنی دار وابسته به زمان¹ باشد، زمان میان آزمون و اندازهگیری سایش باید به صورت دقیق انتخاب و ثبت شود. پس از بهوجود آمدن آسیب، بعضی از پلیمرها با دمای انتقال شیشهای² (Tg) پایین در محدوده زمانی طولانی پس از آسیب جریان مییابند و شکل میگیرند.
بند 3، صفحه 23

بند 4، صفحه 23
10 μm
بند 5، صفحه 23
الف– تصویر دوبعدی متعارف
بند 6، صفحه 23

بند 7، صفحه 23
[ناخوانا]
[ناخوانا]
[ناخوانا]
بند 8، صفحه 23
ب– تصویر سه بعدی برجسته
بند 9، صفحه 23
شکل۲– تصویر حاصل از میکروسکوپی الکترونی از یک خراش میکرو تریبولوژی ایجاد شده بر روی یک لایه نازک به ضخامت۳ μm از جنس TIAlN که روی زیرلایهای فولادی پوشش داده شده است. خراش توسط یک وسیله ایجاد تورفتگی الماس به شعاع۱۰ μm و تحت نیروی۵۰ mN کشیده شده است. توجه شود که عمق خراش در حدود۴۰ nm است.
روشهای آزمون سطح
صفحه 23
بند 1، صفحه 23
بخش مهمی از هر نوع آزمون نانو تریبولوژی بررسی تغییرات سطح است که در طول آزمون رخ داده است. گستره وسیعی از تجهیزات در این زمینه موجود میباشد.
بند 2، صفحه 23
بررسی هر دو سطح تماس مهم است (هم پروب و هم نمونه) زیرا ممکن است در هر دو تغییراتی ایجاد شود. غالباً بررسی سطوح قبل و بعد از یک آزمون مفید است تا بتوان مشخص نمود که تغییراتی رخ داده است یا نه و اینکه آیا لایههای نازک انتقالی یا آلایندهها وجود دارند.
بند 3، صفحه 23
1- Significant time-dependent behaviour
2- Glass Transition Temperature
صفحه 24
بند 1، صفحه 24
استفاده از میکروسکوپهای نوری برای بررسی شکل کلی آسیب مفید است، اما کاربرد آنها بهعلت حد تفکیکپذیری نوری محدود است.
بند 2، صفحه 24
میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM مکرراً مورد استفاده قرار میگیرد و با تفکیکپذیری کمتر از۱ nm یا تفکیکپذیری بهتر، از دستگاههای نشرمیدانی برای اکثر مقاصد مرتبط با آزمونهای نانوتریبولوژی دارای تفکیک پذیری کافی است (به شکل۳ مراجعه شود). تصاویر SEM را هم چنین میتوان با طیف سنجی پرتو X با پراکندگی انرژی (EDS)¹ مشاهده کرد که میتواند تجزیه و تحلیل شیمیایی عنصری با تفکیک پذیری تا حدود۰/۲ μm و یا با روش پراش الکترون برگشتی (EBSD)² ترکیب نمود که میتواند تجزیه و تحلیل پراش را ارائه دهد (اطلاعاتی در مورد ساختار بلوری و تغییر شکل).
بند 3، صفحه 24
میکروسکوپی الکترون عبوری (TEM)³ نیازمند آمادهسازی نمونههای شفاف نسبت به عبور الکترونهاست، با این وجود اگر این شرایط فراهم شود، TEM اطلاعات بینظیری را در مورد ساختار ماده با تفکیکپذیری نزدیک به ابعاد اتمی ارائه میدهد. بررسی تغییرات ساختار نمونهها در زیر سطح حوزه تماس اهمیت ویژهای دارد.
بند 4، صفحه 24
همچنین غالباً AFM به منظور بررسی ناهمواری آسیب ایجاد شده بهوسیله آزمونهای نانوتریبولوژی کاربرد دارد و دارای تفکیک پذیری تا حدود مقیاسهای اتمی است.
بند 5، صفحه 24
همچنین از سایر روشهای تجزیه و تحلیل میتوان استفاده کرد که شامل طیف سنجی جرمی یون ثانویه (SIMS)⁴ و یا اوژر⁵ و طیف نگاری فوتوالکترون پرتو X (XPS)⁶ است که اطلاعات جزئی در مورد ساختار شیمیایی با میزان تفکیک پذیری در عمق چند نانومتری را ارائه میدهد.
بند 6، صفحه 24
1- Energy dispersive spectrometry
2- Electron back-scattered diffraction
3- Transmission electron microscopy
4- Secondary ion mass spectrometry
5- Auger
6- X-ray photoelectron spectroscopy
صفحه 25
بند 1، صفحه 25

بند 2، صفحه 25
2μm
EHT = 20.00 kV
WD = 3 mm
Signal A = InLens
Photo No. = 1368
Date: 2[ناخوانا] Oct 2006
Time:10:36:19
ZEISS
بند 3، صفحه 25
شکل۳– خراش ایجاد شده بهوسیله آزمون میکروتریبولوژی روی یک پوشش۳ μm که روی زیرپایه فولادی پوشش داده شده است. خراش با۵۰ بار عبور یک وسیله ایجاد تورفتگی الماس به شعاع۱ μm و تحت بار۵۰ mN خراش ایجاد شده است.
گفتوگوی عمومی انجمن درباره بخش 6
نظر شما درباره این بند با نام شما در انجمن عمومی منتشر میشود و دیگران میتوانند آن را بخوانند و پاسخ بدهند.