بخش 5.2.2.page-15.2

مشخصه‌یابی شکل سوزن معمولاً از طریق روش‌های میکروسکوپی مختلف از قبیل میکروسکوپ نوری و میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)¹ و AFM انجام می‌شود. میکروسکوپی نوری برای ارزیابی شکل کلی سوزن و کیفیت آن مورد استفاده قرار می‌گیرد. برخی از میکروسکوپ‌های نوری براساس روش‌های هم‌کانونی یا تغییرپذیری کانون کار می‌کنند، توانایی سنجش ارتفاعی با توان تفکیک۱۰ nm یا بیشتر را دارند اما دقت تفکیک‌پذیری جانبی محدود به حدود۱۵۰ nm است میکروسکوپ الکترونی روبشی را می‌توان به نحوی بسیار مؤثر مورد استفاده قرار داد اما باید اطمینان حاصل کرد که راستای پروب به صورت بهینه برای اندازه‌گیری شکل قرار دارد. این نکته نیز مهم است که پروب را از چندین زاویه متفاوت مورد بررسی قرار داد زیرا تصویر ایجاد شده با SEM دوبعدی می‌باشد.