بخش 5.1.3.page-12

سه محور حرکتی برای حرکت x-y و هم چنین حرکت نسبتاً بزرگ در راستای z نیاز است تا به پروب این امکان را بدهد که نزدیک نمونه قرار گیرد. حرکت در راستای محور z باید عمود بر حرکت در صفحه x-y باشد.

انواع مختلفی از حرکت‌ها را می‌توان در این آزمون‌ها مورد استفاده قرار داد. متداول‌ترین آن، حرکت به جلو و عقب در یک مسیر خطی است. یک نوع از حرکت مذکور زمانی است که حرکت یک طرفه موردنیاز باشد به نحوی که حرکت در یک مسیر واحد همراه با بالا آمدن (قطع تماس) قبل از حرکت برگشت و بدنبال آن تماس‌های مکرر بعدی برای ایجاد تماس‌های چندگانه در همان راستا رخ دهد. حرکت چرخشی نیز کاملاً متداول است و در این جا نمونه سطح به سادگی به‌وسیله یک موتور محرک چرخانده می‌شود.