بخش 5.1.3

حرکت نسبی ایجاد شده میان پروب و نمونه می‌تواند از طریق حرکت نمونه یا پروب حاصل شود. در هردو مورد حرکتی که ایجاد می‌شود باید مشخص و قابل باز تولید باشد به نحوی که بتوان آزمون‌های تکراری را انجام داد.

در تغییر مکان‌های عمودی کوچک و نیروهای به کار برده شده در آزمون‌ها دقتی ویژه مورد نیاز است تا بی‌نظمی موجود در خود حرکت باعث ایجاد خطاهای تصادفی در نیروهای به‌کار برده شده نشود. مراقبت‌های زیادی باید درنظر گرفته شوند تا نوسان‌های حرکت و سایر اثرات ایجاد شده به علت لرزش زمین، تغییرات دمای محیطی و جریان هوا (برای مثال از طریق دستگاه‌های خنک کننده، آزمونگر و یا دستگاه‌های آزمایشگاهی) را به حداقل برسانند. حرکت می‌تواند به چند طریق ایجاد شود. فعال‌کننده‌های پیزوالکتریک می‌توانند به‌کار گرفته شوند اما دامنه‌ای محدود دارند (معمولاً در حدود۱۰۰ μm).

همچنین می‌توان فعال‌کننده‌های الکتریکی فرمان‌پذیر، موتورهای سیم‌پیچ صوتی یا موتورهای پله‌ای (موتورهایی که چرخشی هستند و در گام‌های کوچک مجزا حرکت می‌کنند) را مورد استفاده قرار داد تا حرکت با دقت مورد نظر را ایجاد کنند. در تمامی موارد، داشتن یک مقیاس مستقل از جابجایی حائز اهمیت است.

علاوه براین، طراحی صفحه نمونه و سامانه‌های هدایت‌کننده حائز اهمیت است، به نحوی که اثرات ناخواسته¹ حرکت در راستای z و یا حرکت در راستاهای x-y مانند پسماند² یا پس زنی³ به حداقل برسند.

1- Artefacts
2- Hysteresis
3- Backlash

سه محور حرکتی برای حرکت x-y و هم چنین حرکت نسبتاً بزرگ در راستای z نیاز است تا به پروب این امکان را بدهد که نزدیک نمونه قرار گیرد. حرکت در راستای محور z باید عمود بر حرکت در صفحه x-y باشد.

انواع مختلفی از حرکت‌ها را می‌توان در این آزمون‌ها مورد استفاده قرار داد. متداول‌ترین آن، حرکت به جلو و عقب در یک مسیر خطی است. یک نوع از حرکت مذکور زمانی است که حرکت یک طرفه موردنیاز باشد به نحوی که حرکت در یک مسیر واحد همراه با بالا آمدن (قطع تماس) قبل از حرکت برگشت و بدنبال آن تماس‌های مکرر بعدی برای ایجاد تماس‌های چندگانه در همان راستا رخ دهد. حرکت چرخشی نیز کاملاً متداول است و در این جا نمونه سطح به سادگی به‌وسیله یک موتور محرک چرخانده می‌شود.